スパッタリング用磁気回路

スパッタリング用ターゲット材の上側に磁場を形成する(ターゲット材の裏側に磁石を置く)ことにより、電子をターゲット材近傍に閉じ込め基板へのダメージを低減させることが出来ます。当社ではご要望の磁場分布をシミュレーションし、最適な磁気回路を提供します。


ABOUT US

持続可能な社会を支える高機能材料会社

売上収益

11,189億円

海外売上比率

62

全従業員数

26,496