スパッタリング用磁気回路
スパッタリング用ターゲット材の上側に磁場を形成する（ターゲット材の裏側に磁石を置く）ことにより、電子をターゲット材近傍に閉じ込め基板へのダメージを低減させることが出来ます。当社ではご要望の磁場分布をシミュレーションし、最適な磁気回路を提供します。
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ABOUT US
持続可能な社会を支える高機能材料会社
売上収益
1兆332億円
全従業員数
21,456人