チルドタワーとは

チルドタワーの主な用途

装置冷却(生産施設・研究施設)

半導体、精密、機械

  • 蒸着装置、スパッタ、拡散炉、リアクタ、酸化炉
  • 高周波誘導炉、真空誘導炉、エピタキシャル炉
  • エッチング、ステッパ
  • 切削油

自動車

  • アルミダイキャスト用金型
  • ゴム混錬
  • シート成形
  • 塗料冷却
  • レーザ加工機
  • 真空めっき

印刷

  • 印刷機用ロール

飲料、食品、医薬品

  • パン、麺等の冷却
  • 製粉用乾燥用ラジエータ
  • しょうゆ、味噌の製造
  • 純水製造装置
  • あんの冷却
  • 製粉用ロール
  • 製剤用生産機器

研究機関、大学

  • レーザー発振機、電子顕微鏡、各種炉

空調用顕熱冷却

  • データセンター
  • クリーンルーム
  • 工場空調
  • 機械室空調